川崎前锋vs清水:氦質譜檢漏儀用于電磁閥檢漏、直通閥檢漏

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  伯東公司德國Pfeiffer HLT 560 氦質譜檢漏儀用于電磁閥閥芯檢漏應用案例—深圳某事業有限公司

一、 電磁閥閥芯檢漏原因

  該客戶是為日本某半導體設備廠生產精密零件激光焊接(電磁閥閥芯),一共有5個型號,月產量2000-3000個閥. 精密零件激光焊接(電磁閥閥芯)產品如下圖:

 

  由于半導體工業上用的氣體如硅烷( SiH4), 氨氣(NH3)等等都是有毒或有腐蝕性的氣體,所以對所用的閥及相關部件, 漏率要求非常嚴格, 要求成品最終漏率低于5-10 mbar l / s, 而這樣的漏率要求也只有氦質譜檢漏儀能達到了.

二、 電磁閥閥芯檢漏方法

  大概的檢測過程為:來料用放大鏡目視檢測,激光焊接完成后再目視檢測,最后用氦氣質譜檢漏儀做最后檢測,漏率值以氦氣檢漏儀測出的數據為準.

  客戶以前用的是日本某品牌的檢漏儀,現在新上的項目都改為德國Pfeiffer的HLT 560這一款檢漏儀,這是因為,只有德國Pfeiffer的HLT 560能滿足這么高的漏率值測試,且數據可靠.另外還具有操作簡單,生產效率高的優點.

三、電磁閥閥芯檢漏操作說明

氦質譜檢漏儀用于電磁閥檢漏、直通閥檢漏

  1),先將閥接入工裝,形成一個密閉的腔體.再將檢漏儀連接到工裝上.

  2),啟動氦質譜檢漏儀, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時顯示一個漏率值.

  3),在激光焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣,同時觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無變化.

  4),如果漏率值上升,說明噴氦氣的地方有漏,該被檢對象質量不合格.如果漏率值能達到要求,該被檢對象合格,檢漏檢測完成.

氦質譜檢漏儀用于直通閥檢漏

一、閥門檢漏需求

  閥門的密封性能是考核閥門質量優劣的主要指標之一. 所以在設計生產閥門時就要提高其密封性能, 并且在出廠前最后一道工序應對閥門做密封性檢測. 目前國內許多閥門廠家使用水檢法和氣壓法進行氣密性檢測, 但是使用此方法只能檢到漏孔比較大的情況, 一般最小可檢漏率1X10E-3 mbar l/s. 但隨著客戶對產品質量要求的不斷提高, 水檢法和氣壓法已經無法滿足要求. 為了保證產品競爭, 許多廠家引進了氦氣檢漏儀, 對于目前常用的檢漏方法, 氦氣檢漏法被公認為最先進可靠的方法之一.

  而德國Pfeiffer 氦質譜檢漏儀具有體積小、重量輕、內部模組化設計、檢測維修方便、使用簡單、一鍵式操作等優點受到廣大客戶的青睞.

  上海閥特流體主要生產銷售各種自動控制閥門, 部門產品出口到國外. 如下圖所示為該司生產的直通閥, 用于有毒氣體設備, 為了作業人員安全及避免環境污染, 客戶要求出廠前對閥門做氣密性檢測.

二、閥門檢漏方法

  Pfeiffer HLT 系列氦質譜檢漏儀同時擁有兩種檢漏模式, 真空模式 (vacuum mode)及正壓模式 (sniffer mode), 可根據客戶不同需求, 選擇不同的檢漏方法. 閥門多采用檢漏儀的負壓模式既真空模式檢漏, 其最小可檢查漏率為5X10-12 mbar l/s.

三、閥門檢漏操作

  1. 如下圖所示, 工作人員用波紋管連接待檢測的直通閥與德國Pfeiffer HLT 560氦質譜檢漏儀.

氦質譜檢漏儀用于電磁閥檢漏、直通閥檢漏

氦質譜檢漏儀用于電磁閥檢漏、直通閥檢漏

  2. 啟動DUO 旋片泵, 直通閥抽真空, 同時啟動氦質譜檢漏儀并顯示一個漏率值. 當旋片泵抽真空到達一定真空度(最高背壓為 25 mbar業界最高)時, 可以進行檢漏操作.

  3. 如下圖工作人員向直通閥密封處和懷疑有漏的地方噴氦氣, 同時觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無變化.

氦質譜檢漏儀用于電磁閥檢漏、直通閥檢漏

  4. 如果漏率值上升, 說明噴氦氣的地方有漏, 該被檢對象質量不合格. 如果漏率值能達到要求, 該被檢對象合格, 檢漏檢測完成.

投稿企業:

  伯東公司 主要經營產品德國 Pfeiffer 渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規管);氦質譜檢漏儀;質譜分析儀;真空系統以及美國Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源,Gamma離子泵.

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