大阪樱花vs川崎前锋:真空檢漏的一些輔助設備

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1、 充氦充氮氟油檢漏平臺

  充氦充氮氟油檢漏平臺是對半導體器件進行密封性、可靠性粗檢漏的專用設備,它與氦質譜檢漏儀配套使用,完成GJBI128A-97國家標準和GJB548-96軍用標準中,對半導體器件零件進行氦加壓精檢漏和充高壓氟油粗檢漏要求。

  此平臺的工作過程是:

  1、氦精檢漏實驗,將半導體零件或器件置于高壓容器中,按國家標準中的規定,根據被檢件的體積大小,施加不同的壓力和氦氣,保持不同時間,減壓后把被檢件從容器中取出來,在氦質譜檢漏儀上檢漏,根據漏率值判斷是否合格。

  2、粗檢漏實驗,將精檢漏后的被檢件放入真空加壓罐中抽真空,注入一定量的氟油,再保壓一定時間,放空取出后,放入專門加溫的氟油中,根據有無氣泡判斷是否合格。全過程連貫進行,操作簡單,安全可靠,工作環境清潔。

2、多工位高真空排氣檢漏臺

  多工位氦質譜檢漏高真空排氣檢漏裝置適用于工業領域高壓開關管、微波發射管等要求大批量、多品種、高靈敏度、快速檢漏產品的檢漏設備。

  該系統由檢漏儀和檢漏平臺兩部分組成,檢漏儀用于判斷工件是否泄漏;檢漏平臺對工件進行真空預抽,檢漏平臺有左右兩組相互獨立的檢測工位,每組工位設置了1-3個檢測接口;一組工位抽真空的同時,另一組工位進行檢測或裝卸工件,縮短了檢測周期,提高了工作效率。由可編程工業控制器(PLC)對檢測全過程進行自動控制,保證了系統的穩定性、可靠性,操作十分簡單,方便了使用者。

  主要技術指標和參數:

  1、電源: 220V 12A

  2、真空度:5×10-3 Pa·m3/S

  3、工作節拍空載:20S/拍

  4、啟動時間:<10min

  5、響應時間: <5S

  6、壓縮空氣: 5~6kg

  7、環境溫度: 5~35℃

  8、空氣相對濕度: <80

  9、工作環境附近無強磁場、無劇烈震動、無腐蝕性氣體;室內通良好,以避免氦氣干攏。