川崎前锋对名古屋鲸八分析预测:擴散泵油的返油過程示意圖

蒸汽流真空泵 鬼馬 真空技術網整理

大宫松鼠vs川崎前锋 www.lpfxlz.com.cn

  擴散泵的油蒸汽并不完全是放射性地沿泵腔向下運動,由于隨機的散射或帶方向性的放射,從噴嘴噴出的蒸汽有部分分子也向真空泵泵口方向移動,這樣就形成了返流;返流是擴散泵系統的主要污染!

擴散泵油的返油過程示意圖

  因此,為了減少返流,在噴嘴和被抽系統之間通常加上合適的捕集裝置;例如:加上水冷的捕集器,可以使返流降低50%,而同時泵的抽速也只是降低10%左右,不幸的是,捕集返流的效率越高,對泵抽速的影響就會越大;例如:一個用水或液氮冷卻的幾乎可以完全捕集返流的裝置,可能會使抽速降低30% !