上海上港川崎前锋历史:放氣閥的工作原理及結構示意圖

真空閥門 郭方準 實用真空技術

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  放氣閥是向真空腔體內導入氣體,以破壞真空的閥門(圖1)。針對超高真空系統,一般情況下導入干燥的氮氣,以避免真空腔體內壁大量吸附水蒸氣。放氣閥不具備超高真空密封的能力,通常連接在進樣室上。

放氣閥的示意圖

圖1 放氣閥的示意圖